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極小加工システムのために開発:
MicroSpotMonitor-Compact(MSM-C)は、コンパクトかつモジュール式の測定システムにより、カメラベースの集光解析システムの製品の可能性をさらに広げました。

極小加工設備に最適化
MicroSpotMonitor-Compact(MSM-C)は、極小加工システムの限られた設置スペースに最適化されています。電子機器、アッテネータ、パワーアブソーバが付属するカメラ外装のサイズは、約230×120×60mmです(L x W x H)。このコンパクトなデバイスには、それ自体の移動機構はありません。

レーザ加工現場の設備システムと合わせて、標準に準拠したコースティック測定を容易に行うことができます。
オプションのPROFIBUSインターフェースを使用すると、システムを設備コントローラにインテグレートすることができます。これは、機器制御のために測定表示されたビームパラメータが、さらなる加工のために直接利用できることを意味します。

MicroSpotMonitor-Compactは、コンパクトに設計されているため、A5ページ程度の設置面積上で、最小150mmのビーム入射高を可能にします。

使用分野

MicroSpotMonitor-Compactは、タービンブレードの冷却チャンネルのピアッシング、SLMプラントのレーザ焼結、ウェハーの分離プラント、医療技術やその他の製造プロセスでのスポット溶接など、レーザ設備のビームパラメータをモニタリングするのに適しています 。

測定方法 – 原理

レーザビームは、測定オプティクスによって拡大され、2つのビームスプリッタで減衰され、偏向ミラーを介してCCDセンサ上に結像されます。必要に応じて、センサの前に追加のフィルタを取り付けることができます。ビーム形状及びパワー密度分布は、CCDセンサによって測定されます。測定データは、イーサネット経由でPCに送信され、PRIMES LaserDiagnosticsSoftwareで評価されます。オプションにより、データはデバイスによって内部的に測定表示され、PROFIBUSインタフェースを介して設備コントローラに転送されます。

測定されたビームパラメータ

(1つの単一切断面の)パワー密度分布、ビームサイズ、測定面におけるビームの向きが測定されます。選択されたローカル分解能に応じて、1Hzまでの繰り返し率で、繰り返し測定が可能です。

外部z軸と組み合わせ:

  • 焦点サイズ
  • 空間での焦点の位置
  • 回折率M2 (ビームプロパゲーション係数 K、ビームパラメータプロダクト)
  • レイリー長
  • ファーフィールドでの発散

使用における3種類の代替手段

MicroSpotMonitor-Compactの操作と制御には、以下の3つの方法があります:

  • PCベースのLaserDiagnosticsSoftware LDSは、ビーム分布を手動で測定し、ビーム位置及びビームサイズを特定することを可能にします。
  • スクリプトは、サービス、品質保証、受入検査における繰り返し測定の問題など、MSMを半自動的に制御します。それらは、それぞれの測定プロセスに個別に適応しています。アドバンテージ:プログラムされたユーザガイダンスにより、MicroSpotMonitor-Compactを動作させるための要件を大幅に削減することができます。
  • PROFIBUSオプションを使用することで、完全自動測定が可能になります。機器コントローラに接続することにより、測定プロセスは機械プログラムから完全に制御することができます。このオプションでは、コンピュータは不要です。


イーサネットあるいはPROFIBUSによるデータ転送

PCとMSM-C間のデータ転送は、イーサネットを介して行われます。PROFIBUSオプションを使用すると、測定結果は機器コントローラに転送されます。必要に応じて、MSM-Cにインテグレートされているウェブサーバーから、イーサネット経由で最後に測定されたビーム強度分布のイメージを取得できます。

あるいは、ビーム強度分布の結像及び測定結果は、FTPサーバーを介して表形式で提供することができます。

モデルとオプション

  • MicroSpotMonitor-Compactと拡大率 3.3x (1064、532 nm)
  • MicroSpotMonitor-Compactと拡大率 5x (1064、532 nm)
  • MicroSpotMonitor-Compactと、垂直ビーム入射とそれに伴う限界加工高さのビーム偏向(半導体産業)
  • MicroSpotMonitor-Compactと、垂直ビーム入力及び同時マージン設置面(SLM、SLS)用のオーバーヘッド取り付け


PROFIBUSオプション:

  • ウェブサーバー
  • FTPサーバー


アクセサリ

  • アッテネータ 1064、532 nm:OD1、OD2、OD3、OD4、OD5
  • 全ての計測オプティクスのサイクロン
  • 測定オプティクス用保護ガラスマウント
  • オーバーヘッド取り付け
  • 90 °ビーム偏向
  • 特定の測定オプティクスに適した測定オプティクスと、保護ガラスマウント用の位置確定補助具:3.3x、5x、10x