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PRIMES Japan K.K.
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Shinyokohama, Kohoku-ku
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測定精度と測定エラー

PRIMES製ビーム解析装置は、作業環境条件の下で最適な性能と精度を発揮するために設計されています。しかし、測定値は、任意の精度で決定することができません。より高い測定精度を実現するためには、より多くの測定回数と高価格の測定機器が必要になります。

こうした理由から、PRIMESの製品群、例えばパワーメータには複数の測定装置を用意しています。装置の測定精度のクラスは、装置自体の再現性と校正許容誤差からの結果です。

PRIMES製装置で得られる測定値を正確なものとするため、当社では、常用標準器を用いて、社内校正ラボで校正作業を行っています。常用標準器は、参照用基準器で定期的に校正されています。その参照用基準器は、国立校正施設で毎年校正されています。パワーメータの参照用基準器は、ドイツ国立計量研究所(PTB)で校正されています。

当社は、PTBでPRIMES EC-PMがレーザパワーのための国家標準機器として採用され、使用されているという事実を誇りに思っています。
ビーム径及びビームプロパゲーションパラメータに国家標準器はありません。PRIMESにおける校正は、冗長性原理に従い、SI測定値に由来する常用標準器に基づいています。
最も簡単な方法は、例えばスキャニングシステム中の、既知の開口部寸法、ファイバ端の寸法、既知の数値による線形軸の情報を利用することです。複雑な方法としては、様々な測定原理(CCD対機械的スキャニング)との比較測定で常用標準器の精度を保ちます。重要点は、冗長性原理、つまり一つのプロセスまたは測定値の検証をするだけでなく、独立した基準値と工程全体にわたって測定値の検証をすることです。幅広いビーム解析の手法採用により達成可能です。

装置の測定精度と同様に、測定環境も測定値の信頼性に影響を与えます。操作マニュアルに記載の使用条件を読んでいただき、できる限りそれに近い状態で使用することをお勧めしています。

測定作業について、何か不安な点はありますか? 当社にご連絡ください。当社の専門家は、理想的な測定を行うため、お客様と共に解決策を探します。

パワー測定の精度

パワー測定のために、当社は製造工程組込可能な様々な測定装置およびセンサを提供しています。表に記載された精度のクラスは、校正作業とデバイスの特性の複合効果に由来します。

当社のパワー測定器の精度と、装置の使用方法に関して質問がある場合は、是非お問い合わせください。

装置ごとのパワー測定精度
 再現性測定精度
PocketMonitor PMT± 2%± 4 %
CompactPowerMonitor CPM± 1.5 %± 3 %
PowerMeasuringModule PMM± 1%± 3 %
PowerMeasuringCassette PMC± 1%± 3 %
PowerMonitor PM± 1%± 2 %
ElectronicallyCalibrated-PowerMonitor EC-PM± 1%± 2 %
Reference EC-PM @PTB± 0.3 %± 0.6 %

ビーム測定の精度

ビーム測定装置やセンサーの校正時、国家標準器がない場合は、常用標準器を使用します。常用標準器を検証するために、定期的に当社測定機器のSIベースの標準器に対して調整されています。当社の校正方法に興味がある場合は、是非お問い合わせください。

以下の表は、当社の校正方法に基づく測定精度を示しています。当社のビーム測定装置の精度と使用方法に関して質問がある場合は、是非お問い合わせください。

装置ごとのビーム測定精度
 再現性測定精度
BeamMonitor BM± 2%ビーム径 ± 10%
LaserQualityMonitor LQM± 2%ビーム径 ± 10% ビームパラメータ± 20%
MicroSpotMonitor-Compact MSM-C± 2%ビーム径 ± 5%
FocusMonitor FM± 2%ビーム径 ± 5% ビームパラメータ± 10%
MicroSpotMonitor MSM± 2 %ビーム径 ± 5% ビームパラメータ± 10%
FocusParameterMonitor FPM± 4 %ビーム径 ± 10%
FocusMonitor FM± 2 %ビーム径 ± 5% ビームパラメータ± 10%
HighPower-MSM-Industry± 2 %ビーム径 ± 5% ビームパラメータ± 10%

用語の定義

当社の測定装置を使用される皆様から、測定誤差と測定精度に関しての質問が多く寄せられます。簡単な説明を以下に示します。

測定精度
測定精度は、再現性、測定誤差、キャリブレーション精度などの複合により算出されます。表示された測定値の許容範囲について表します。測定精度に関しては、多くの製造業者は数字を生じさせる再現性のみを指定します。

再現性
再現性は、測定が同じ環境下で繰り返された場合の測定値のバラツキを表します。測定の統計的分布の乱れの影響は、ここで明らかになります。再現性は真値との比較は含まれていませんが、一つの測定から別の測定までの表示の変化を表します。

システム測定エラー
環境の影響を通じ、検出器またはバックグラウンドの影響から、システム測定エラーが生じます。これらの測定エラーは、その測定結果にシステム測定エラーがないように、しばしば測定装置の基本的な設定で補償することができます。

キャリブレーション精度
キャリブレーション精度は、一番目に全ての使用される標準測定の信頼性の欠如から他の測定装置に標準測定精度を転送する際、二番目に使用される試験方法、関連する環境条件及び選択された測定条件の下での試験対象物の再現性から生じます。測定装置の測定の信頼性の欠如は、常に採用標準機器の測定信頼性の欠如よりも高いことを意味します。