Produkte - Fokusvermessung
MicroSpotMonitor
Automatisierte Fokusvermessung für kontinuierlicheund gepulste UV/VIS/NIR - Laser
Steuerung und Darstellung
Die Abtastung des Strahls erfolgt berührungslos durch ein Objektiv. Objektive mit Vergrößerungen von 1:1 bis 1:30 sind verfügbar. Das ermöglicht es, auch Strahlen mit höchsten Leistungsdichten zu vermessen.
Ein Objektiv (1:10) besitzt eine NA von 0,2. Es ist zur Zeit ausgelegt für mittlere Leistungen von etwa 200 W und korrigiert für 1064 nm und 532 nm. Das Objektiv bildet den Strahl durch ein geeignetes Abschwächungssystem auf den Sensor ab.
Als Sensor kommt ein CCD-Sensor zum Einsatz. Das CCD hat bei konstanter Integrationszeit eine typische Dynamik von 55 dB. Über die zusätzliche Steuerung der Integrationszeit von 12 µs bis 200 ms lässt sich der Dynamikbereich um 80 dB auf mehr als 130 dB erweitern.
In jedem Fall ist mit dieser Dynamik sichergestellt, dass auch Kaustikmessungen über mehr als 4 Rayleighlängen, wie sie die ISO 11146 fordert, durchgeführt werden können. Die im MicroSpotMonitor integrierte z-Achse vereinfacht dies und ermöglicht so die schnelle Bestimmung der Fokus-Parameter.
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